发表时间: 2021-09-06 11:30:38
作者: 成都(dōu)九游j9官网和朗锐芯科技发展有限公司
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测控(kòng)设备领域(yù)上我国(guó)始终落后与国(guó)外(wài)发达国家,先进设备都需要从(cóng)国外购(gòu)买(mǎi),去年疫情贸易进出口的(de)封锁,让国内买不到国外先进设备而无法进行产品制造,也大多人明白将中国制造(zào)转(zhuǎn)变为中国“智”造迫(pò)在眉睫。而测控系统作为打造国之重器的(de)重(chóng)要技术装备,其国产化进(jìn)程更是刻不容缓。
测控设备国产化,不(bú)仅可将用(yòng)户需求(qiú)体现(xiàn)在产品上,更多(duō)地提高可用性,还能全(quán)面提高国产测控设备的核心竞争力,实(shí)现(xiàn)弯道(dào)超车。
虽前景光明,但测控设备的国产化绝非易事,其包括系统级的国产化、OS级的国产(chǎn)化和芯片级的国(guó)产化“三步走战略”,涉及软件、硬件、算法等(děng)众(zhòng)多层面,如何(hé)在保证系统功能和可靠性的同时(shí),快速实(shí)现国产化、自主可控的测控系统,打(dǎ)造一张张闪(shǎn)亮的中国“智”造名(míng)片,成为各国内企业亟待解决的难题。
纵观半导体的制造(zào)流程,晶(jīng)圆针测(cè)是(shì)非常重(chóng)要的一环。检测晶圆的响应参(cān)数(shù)进行特性分(fèn)类,需通过电压输出激(jī)励待测(cè)晶圆,再(zài)由高速的模拟量监测(cè)给电(diàn)过程中的响应特性,同时需要(yào)大量DiDo的开关量(liàng)控制探针台(tái)位置。
针对上述需求(qiú),为该晶圆针测环节提供了一款具有(yǒu)16位高分辨率和(hé)高达1M的采集速度,并可同时输(shū)出两路波形的高速采(cǎi)集与控制卡(PCIE-1816H),另外依据不同的数字控制(zhì)点(diǎn)选配了多款控(kòng)制(zhì)卡(PCI-1737/1757/1753 IO)。基于三(sān)大维(wéi)度(dù),成功助(zhù)力晶(jīng)圆检测设备实现国产化。
在智能制(zhì)造的大趋势下,数(shù)控机床正向着高精度、高速度、高生产效率的(de)方向(xiàng)发展,这对机床的(de)动态特性提出了(le)更高的要(yào)求。此(cǐ)外(wài),通过(guò)模态测试与分析建立机床的结构动力学模型,也成为优化机床设计与(yǔ)性能、及(jí)早发(fā)现潜在问题的有(yǒu)效途(tú)径。
对于机床的模态分析而言,更是一项“精(jīng)细活”。其主要是使用力(lì)锤、激振器或(huò)者(zhě)激振台产生(shēng)脉冲冲击,利用加速度传(chuán)感(gǎn)器在多点进行同步(bù)响应信(xìn)号的(de)采集,再用数学分析方法计算机械结构的固有振(zhèn)动特性,每一个模(mó)态(tài)都有特定的固(gù)有频率、阻(zǔ)尼比和模态振型。这(zhè)套系统此前一直由国外公司提供,不(bú)仅面临着市(shì)场供货不足的问题,其高昂(áng)的价(jià)格(gé)也(yě)让人望而却步。
除此之(zhī)外,国(guó)外模(mó)态(tài)试验系统也面(miàn)临(lín)着技术瓶颈。为保证实验数据精度和振型辨识要求,需要在(zài)数(shù)控机床的主轴(zhóu)、立柱和工作台布置几十个(gè)测点,每个测点采用XYZ三向加速度(dù)传感器,采集通道高达100路(lù)以(yǐ)上。国外系(xì)统的(de)模(mó)态(tài)测试(shì)系(xì)统一(yī)般仅有(yǒu)32通道,只能采取分区测(cè)试的方法,不仅非常耗(hào)时,而且由于各区域的测试不是在(zài)同一激励下进行(háng)的,后(hòu)续分析(xī)计算(suàn)也极为复杂(zá)。
针对数控(kòng)机(jī)床模态试验,为客(kè)户量身打造了一套104通道(dào)同步振动模(mó)态测试系统(tǒng)。该系统采(cǎi)用13张(zhāng)PCIE-1803,每片(piàn)PCIE-1803支持8路(lù)信号,共104路,使用内部(bù)同步(bù)总线可实现纳(nà)秒(miǎo)级同步时间,误(wù)差小于100ns。
此外通过(guò)增加主机系统(tǒng),可以实现200通道以上(shàng)的(de)同步采集。应变(biàn)片信号(hào)采集(jí)通过(guò)2片PCIE-1813 实现(xiàn),系统选用IPC-623BP机箱配合(hé)PCE-7B17底板支持(chí)15片PCIE板卡(kǎ)。软件(jiàn)兼备加(jiā)速规传感器的灵(líng)敏度、供电方式、耦合方(fāng)式、采样频率(lǜ)等设置,同时具有数据采(cǎi)集、曲线显示(shì)和数据保存的功能,实为打造(zào)系(xì)统级国(guó)产化的理想路径。有效解(jiě)决了国外模态测(cè)试系统(tǒng)价格高、备件不(bú)足的弊端(duān),保证(zhèng)了系统的精度和稳定性,在与客户(hù)的密(mì)切合作(zuò)与快速服务中(zhōng),高(gāo)效完成国产化替(tì)代的进程(chéng)
测控设备国产化(huà)“三部曲”,第一曲“系统级国产化”已完美谢幕。放眼未来,国(guó)产化之路任重道远,仍(réng)有诸多挑战等待突破,等待我们探索其背后的(de)机(jī)遇。下一期“OS级国产化(huà)”,我们将带你揭开中国(guó)操作系统(tǒng)国产化的序幕,敬请关注!